OptoScan 600

Großflächige Rauheits- und Welligkeitsmessung auf Panels

Die OptoScan 600 Messmaschine wurde für die Vermessung großer Panels im Halbleiterbereich entwickelt. Aber auch Folien oder ebene Teile, wie beispielsweise polierte Werkzeuge oder Spiegel können im Serienbetrieb gemessen werden.

Das reinraumtaugliche OptoScan 600 Messsystem ist in der Lage bis zu 600 x 600 mm² große Bereiche zu messen. Verschiedene Messprogramme stehen hierbei zur Verfügung: Linienscans, sowohl in x- als auch y- Richtung, teil- und vollflächige Messung, Rauheitsauswertung (Aq oder, nach Durchführung einer vorherigen Korrelation, auch Ra, Rz), Form und Welligkeit. Das System kann entweder mit oder ohne einem Metapor Vakuumchuck bestellt werden. Die max. Vorschubgeschwindigkeit beträgt 600 mm/s.

Hochgenaue Flächenmessung bis zu 600 x 600 mm²

Software OptoScan 600

Anwendungsbeispiel im Halbleiterbereich. Messen von Panels mit Chips, die nach dem Beschichten mit Mold feingeschliffen werden. Links: Rauheitsverlauf auf der gesamten 600 x 600 mm² großen Fläche (Ra-Werte, Skala von 0,09 – 0,2 µm). Rechts: Auswertung von 148 Einzelsegmenten. Flächendarstellung von Segment 22

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