OptoScan

x-y-Messtischsystem

Die x-y-Messvorrichtung OptoScan ist ideal für die vollflächige Vermessung ebener Messobjekte geeignet. Hauptanwendungen finden sich in der Texturuntersuchung, Welligkeitsanalyse, Formmessung, Glanzmessung und Defekterkennung. Dank der Verbindung aus hochpräzisen Positioniersystemen und dem OS 500 Streulichtsensor können mit dem Messsystem Formabweichungen bis in den Nanometerbereich sicher detektiert werden. Der Messtisch ist hierbei bequem über die OptoSurf Software steuerbar und die Messergebnisse lassen sich mit der Software SW 3D direkt darstellen.

In der Standardausführung können Messobjekte bis 110 x 100 mm² vermessen werden. Die Präzisionsachsen werden mit einem Linearmotor angetrieben und erlauben Messgeschwindigkeiten bis zu 500 mm/s. Aufgrund der Abstandsunabhängigkeit des Streulichtsensors wirken sich kleine mechanische Ungenauigkeiten in den Achsen nicht aus, so dass bei der Formmessung Geradheitsabweichungen < 0,1 µm auf 100 mm gemessen werden können. Die Auflösung bei der Rauheits- und Welligkeitsmessung liegt bei 1 nm.

Rauheits-, Form- und Defektmessung von ebenen Teilen

Flächenscan Form und Rauheit Wafer

OptoScan Welligkeitsmessungen im Zentrum eines polierten (links) und eines geschliffenen (rechts) Wafers. Die maximalen Amplituden liegen bei 50 nm. Die laterale Auflösung beträgt 30 µm.

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